默着，手指稳健地操控鼠标。屏幕上的画面继续向下移动：
group 11， elent 1 （对应分辨率约244n）–清晰！
group 11， elent 2 （约218n）–清晰！
group 11， elent 3 （约194n）–清晰！
……
栾文杰的心跳随着每一次画面切换而加速，呼吸也变得急促起来。
每一次清晰成像的出现，都在无情地冲击和粉碎着百年光学理论的基石！
画面再次切换：
group 11， elent 4–三条亮线依然顽强地保持着可分辨的状态。
虽然对比度相比前面几组有所下降，亮线似乎也略微变细，但它们依旧清晰地并列着，中间的黑缝明确存在！
这已经将衍射极限甩开了相当一段距离！
栾文杰感觉自己的情绪似乎被调动了起来，他死死盯着屏幕拳头不自觉地握紧。
常浩南再次点击。
画面切换到了 group 11， elent 5。
这一次，屏幕上的景象终于发生了变化。
那三条本应清晰独立的亮线，此刻却如同被水浸润的墨迹，边缘模糊，相互粘连、融合在一起，形成了一片边界不清的、亮度略高的弥散光斑，再也无法分辨出任何独立的线条结构！
“看不清了！”几乎是同一时间栾文杰和栗亚波两人异口同声地喊了出来！
脱口而出之后，前者才意识到自己好像有点失态。
但好在这里也没外人，所以他很快又重新盯上了眼前的屏幕。
“这个图案是11组5元素（group 11， elent 5）！”
他准确地喊出了刚刚变得模糊的那个靶标元素的编号，声音因为激动而有些变调。
常浩南点点头，目光锁定在屏幕上最后那个清晰的图案上：“没错，所以最后一个能清晰分辨的，就是11组4元素。”他随即转向栗亚波，“亚波，靶板说明书。”
栗亚波立即把说明手册翻开，铺在键盘前面。
这本手册详细记录了af 1951分辨率靶标上每一组、每一个元素对应的精确线宽和分辨率数值。
由于11组的元素极其细微，极少在常规测试中使用，其具体数值连常浩南也无法立刻记清。
实验室里瞬间安静下来，只剩下几人略显粗重的呼吸声。
所有人的目光都聚焦在常浩南沿着表格不断移动的指尖上。
沿着目录快速找到11组，然后顺着元素编号向下移动，最终稳稳地停在了一个数字下面：
“group 11， elent 4…… retion：0173μ…… 173n。”
173纳米！
这个数字如同一个惊雷，在小小的实验室里轰然炸响！
常浩南抬起头，目光扫过满脸震撼的栾文杰和激动得脸颊泛红的栗亚波，他的声音平静，却蕴含着足以改写教科书的力量：
“6328n波长红光下的理论衍射极限分辨率，按最宽松的瑞利判据计算，大约是316n。按更严格的斯派罗判据或实际工程经验，通常认为在350n附近。”
他顿了顿，每一个字都掷地有声：
“而我们观测到的、最后一个清晰可辨的11组4元素，其对应的分辨率是173n。”
“即使考虑到测试中可能存在的微小误差，这个结果也明确无误地表明——”
常浩南的声音陡然拔高带着宣告般的穿透力：
“我们成功突破了传统光学成像系统的阿贝衍射极限！”
超分辨率光刻
栾文杰的视线凝固在屏幕上最后那个清晰的“group 11， elent 4”标识上，仿佛时间都要凝滞了。
173n——
短暂的兴奋尽头过去之后，他不由得开始思考起这个数字背后的深层含义。
衍射极限，是光学系统中由电磁波衍射效应形成的分辨率理论上限，是光的波粒二象性的延伸。
如果往大了说，甚至可以算是现代物理学、乃至现代科学的基石之一。
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